熱式質(zhì)量流量計(jì)是利用流體流過外熱源加熱的管道時(shí)產(chǎn)生的 溫度場(chǎng)變化來測(cè)量流體質(zhì)量流量股缸，或利用加熱流體時(shí)流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測(cè)量流體質(zhì)量流量的一種流量?jī)x表庸灶。它具有壓損小鸽素，流量范圍度大隆判，高精度，高重復(fù)性俯渤，高可靠性秉剑，體積小，易維護(hù)不易損壞等特點(diǎn)稠诲。
與其他形式的質(zhì)量流量計(jì)相比較侦鹏，熱式質(zhì)量流量計(jì)能夠測(cè)量較低流速的微小流量。它的結(jié)構(gòu)中不存在可動(dòng)部件臀叙，可靠性高略水。如無分流管的熱分布流量計(jì)沒有阻流元件，測(cè)量不會(huì)引起壓力損失劝萤；帶分流管的熱分布式或侵入式流量計(jì)雖有阻流件渊涝，但壓力損失很小。
熱式質(zhì)量流量計(jì)由傳感器和信號(hào)分析床嫌、處理與控制單元兩部分構(gòu)成跨释。傳感器一部分測(cè)量溫度，而另一部分用于加熱风加。前者監(jiān)控實(shí)際過程溫度值蝎疹；后者維持一恒定溫度值，使其總是高于實(shí)際過程溫度且與該過程溫度保持恒定的溫度差宠佩。氣體的質(zhì)量流量越大边饿，冷卻效應(yīng)就越大，維持差分溫度所需的能量也就越大蚀抄。因此值舀，通過測(cè)量加熱器的能量便可得出被測(cè)氣體的質(zhì)量流量蛆骨。
科威勒提供的FGM210熱式質(zhì)量流量計(jì)是采用*流量傳感器芯片，結(jié)合 32位高速數(shù)字處理電路裙澎、高精密算法以及注塑的旁通流道和本體設(shè)計(jì)洒妈，所開發(fā)的大量程、高可靠的傳感器微系統(tǒng)模組艘彭，具有低功耗(典型80mW)蛮碾、大量程10-300SLM、快速響應(yīng)(典型5ms)等優(yōu)點(diǎn)乘碑。高性能流量傳感器芯片以及核心標(biāo)定算法技術(shù)挖息，配合多種不同流道設(shè)計(jì)金拒，具有可靠的長(zhǎng)期穩(wěn)定性兽肤。
